其中产率就是光刻机在单位时间内能够出产的芯片数量。
这个产率跟光刻机的光源功率，曝光剂量，曝光场大小灯相关。
不过，这个当前并不是最主要的，毕竟一旦光刻机研发成功了，即使产率不高，也可以通过增加光刻机台数的方法来提升产率。
套刻精度则是对芯片上的图形精度的一个直观提现。因为集成电路的制造徐亚经过几十次甚至上百的曝光。这一个过程中，每一次的精度差异都是纳米级别的。这对于镜头和定位的要求特别高。不过以当前的水平，镜头和定位水平都不可能有质的飞跃。
陈亚之知道，这个可以发展，但是需要至少四到五年的时间。
最后则是分辨率，这个是评判光刻机先进成都的最直观的标准。通常我们所说的光刻机的纳米级别就是指的分辨率。
其实，所谓的分辨率有点像照片的像素。照片是由很多个小的色块组合而成的，这个色块的尺寸越小，那么照片的像素就会越高。
光刻机的分辨率就是类似色块的最小尺寸，只不过他是以3D的形式，表现在芯片基板上面。
分辨率越小，那么说明光刻机越先进。通常所说的光刻机上突破的尺寸，就是指这个分辨率。
在光刻机中，分辨率又跟一个公式有关，即瑞利公式。分辨率与镜头的数值孔径成反比，与光源的波长成正比。
数值孔径其实类似于我们的视线范围。理论上，这个范围应该是360度才好。不过，因为光刻机要求光刻时的光源参数必须保持一致，因而，这个范围其实是受限的，并不能做得特别大。
光源的波长则很好理解。赤橙黄绿蓝靛紫，光波长度依次减小。
比如最新的EUV光刻机中，所用到的极紫外线波长就只有13.5纳米。
陈亚之知道，这个时候极紫外光源还没有能够研发出来，而且也不是短期内可以做到的。因此，可以将极紫外光源纳入研究范畴，当前最要紧的则是研究浸液式光刻机。
所谓浸液式光刻机就是在投影物镜的透镜和硅片之间增加一层折射率为1.437的超纯水。通过光的折射特性来增加数值孔径，以大到分辨率的降低效果。
陈亚之道：“卢教授，不知道你对浸液式光刻机的研究得怎么样？”
卢光南推了推眼镜道：“这个我们之前做过研究，不过因为经费短缺的原因，后来被搁置了。如果我们现在发展浸液式光刻机的话，我想我们可以在一年半到两年的时间内，能够研发出来。”
陈亚之道：“好，那我们就先这么定下来，先全力研发浸液式光刻机，早日实现58纳米的突破。同时，我们也要开始极紫外线的光刻机研究。”
卢光南并没有明显的激动，反而慢条斯理道：“陈总，如果这么做的话，我担心我们的经费...”
这个老人已经被钱给整怕了。他前半辈子一直因为没有得到充足的经费，导致自己倡导的道路没有能够走下去。现在陈亚之提出了，不仅要抓紧研制浸液式光刻机，还同时要进行极紫外线光刻机的研究。
这其实有点左右手互搏的意思。理论上，很多人都认为极紫外线是不可能研发成功的，转而认为光刻机的未来是浸液式光刻机。
陈亚之因为有前世的记忆，知道浸液式光刻机终将被淘汰，未来将会是极紫外线光刻机（EUV）的天下。
不过，为了能够在短期内实现国产光刻机满足汽车行业的需求，他才会这样左右手互搏。既做浸液式光刻机，又研发极紫外线光刻机。
陈亚之道：“卢教授，钱不是问题，我就怕钱解决不了的问题。不过，我想咱们都能搞出炸弹来，这个世纪不可能搞不定一个光刻机。”
卢光南还是忧心忡忡道：“咱们前期如果没有万亿级别的投资，很难会成长起来的。”
陈亚之道：“我们现在不是有了半导体产业园了吗？现在这个园内百分之八十的都是半导体行业相关的公司，没什么可怕的。咱们戮力同心，一定可以成长壮大起来。”说到这里，陈亚之故作轻松道：“再者说了，我现在出钱，钱管够。”
众人听到这里，都跟着一起笑。虽然知道半导体行业的艰难，却也被他这轻松的心态所感染，都觉得充满了干劲。
杨小宝这时候道：“陈总，我现在倒是有一个担心的点。就是我们现在给了这些企业这么大的优惠政策，就怕他们挂羊头卖狗肉，明着是做半导体，实则是浑水摸鱼，骗钱的。”
陈亚之沉吟了半晌，心说，这的确是一个问题。随即又坚定道：“魔都微电子和芯火国际已经占据了这边的半壁江山，剩下的哪怕有一成的企业愿意真心做半导体行业，那也是值得的。”
众人都是点了点头。
陈亚之最后还是不忘记给大家打鸡血，道：“别怕，这世界上就没有钱解决不了的事情。而我，有的是钱。”
...
开完半导体发展会议后，陈亚之心里其实并没有轻松的感觉，想象中激动的心情也丝毫没有。倒不是他有多稳重，毕竟他现在也才二十五岁不到，已经建立起来了一个堪比硅谷的半导体产业园。
这无论如何都应该是值得标榜的一件事情。不过他在担忧，卢光南教授在会议中担忧未来的资金问题，他现在也开始不得不担心起来。
的确，他现在手头有着将近三千个亿的现金流。但是半导体行业本身就是一个吸金行业，而且，自己现在近乎是以一己之力，建立整个产业链。
如果仅仅是一个光刻机还好说，三千个亿砸下去，就算砸不出坑，至少也会有个水花。但是他现在相当于是整个铺开，整个产业链都是由他来整合。
这里面不仅涉及到物理化学数学这些基础学科，而且还涉及到一些高精制造。算得是科学，技术和工程都需要一起进行投资。
陈亚之想了想，首要的是自己需要加大对数学系，物理系，化学系等这些基础学科的资金支持。这里第一步，自然是投资高校的基础学科，第二步则是将他们纳入到夸父半导体产业园来。
对于高精制造业，则是进一步增大资金投资的力度。这些行业，很简单，唯一要求就是靠着经验支撑起来。经验这个时候可以用钱来砸。别人用三年积累的经验，咱们用三十套方案一起做，绝对可以积累出相应的宝贵经验。
想到这里，陈亚之觉得需要重新考虑下自己未来的投资策略。他先前还说自己不投资互联网和房地产行业，现在看来不得不改变这个初衷了。